При проектировании или эксплуатации вакуумной системы крайне важно понимать функции вакуумных насосов. Мы рассмотрим наиболее распространенные типы вакуумных насосов, принципы их работы и то, где в системе они используются.
Категории насосов (по рабочему давлению)
Вакуумные насосы классифицируются по диапазону рабочего давления и, как таковые, классифицируются как первичные насосы, бустерные насосы или вторичные насосы. В каждом диапазоне давления есть несколько различных типов насосов, каждый из которых использует различную технологию, и каждый из них имеет некоторые уникальные преимущества в отношении производительности, расхода, стоимости и требований к техническому обслуживанию. Подробнее о вакуумном насосе вы можете узнать на сайте «Viola-Nsk.Ru». Компания занимается реализацией вакуумного оборудования.
Показатели эффективности
Скорость откачки относится к объемному расходу насоса на входе, часто измеряемому в объеме в единицу времени. Насосы для передачи импульса и улавливания более эффективны для некоторых газов, чем для других, поэтому скорость откачки может отличаться для каждого из перекачиваемых газов, а средний объемный расход насоса будет варьироваться в зависимости от химического состава газов, остающихся в камере.
Пропускная способность относится к скорости откачки, умноженной на давление газа на входе, и измеряется в единицах давления — объем/единицу времени. При постоянной температуре пропускная способность пропорциональна количеству перекачиваемых молекул в единицу времени и, следовательно, массовому расходу насоса. При обсуждении утечки в системе или обратного потока через насос пропускная способность относится к объемной скорости утечки, умноженной на давление со стороны вакуума утечки, поэтому пропускную способность утечки можно сравнить с пропускной способностью насоса.
Насосы объемного вытеснения и передачи импульса имеют постоянный объемный расход (скорость откачки), но по мере снижения давления в камере этот объем содержит все меньше и меньше массы. Таким образом, хотя скорость откачки остается постоянной, пропускная способность и массовый расход падают экспоненциально. Между тем, скорость утечки, испарения, сублимации и обратного потока продолжает обеспечивать постоянную пропускную способность системы.
Классификация вакуумных насосов
Вакуумные насосы подразделяются на насосы для перекачки газа и насосы для связывания или улавливания газа. В то время как вакуумные насосы с вытеснением газа могут использоваться без ограничений, вакуумные насосы для связывания газа имеют ограниченную газопоглощающую способность и должны регенерироваться с определенными интервалами, зависящими от процесса.
Насосы объемного вытеснения газа, которые также называются насосами для перекачки газа, классифицируются либо как насосы объемного вытеснения, либо как кинетические вакуумные насосы. Объемные насосы вытесняют газ из герметичных зон в атмосферу или на нижестоящую ступень насоса. Кинетические насосы вытесняют газ, ускоряя его в направлении откачки, либо с помощью системы механического привода, либо с помощью направленного потока пара, который конденсируется в конце секции откачки. Вакуумные насосы, связывающие газ, либо связывают газ с особенно активной подложкой посредством получения или конденсация газа при подходящей температуре.
